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熱式微小液体流量計 形F7M

アズビル株式会社


高い計測性能、使いやすさを実現した熱式微小液体流量計

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熱式微小液体流量計 形F7M

特長

気体流量計にて実績が豊富な熱式MEMSセンサと耐食性の高い石英ガラス製流路を組み合わせ、従来の計測方式では再現性の高い計測が難しかった30mL/min以下の微小液体流量の瞬間・積算流量の計測を実現しました。
従来の計測方式と比較すると流体状態の変化(気泡、脈動、流体温度等)の影響を受けにくく(設定変更を必要とする場合も有)、平易に微小流量を計測できます。流量を計測することにより、ポンプ回転数の管理、重量測定、流体供給時間の管理等の代替手法から置き換えて、より信憑性の高いデータ管理が可能となります。
また、イベント機能を用いて、配管内の空状態や気泡混入を検知したり、脈動の状態を監視することも可能です。

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  • 30mL/min 以下を計測可能

    MEMSセンシング技術を活用した熱式計測原理を採用し、 従来は安定した計測が困難であった30mL/min以下の微小流量計測を可能としました。
    (計測流量範囲:0.1~10mL/min、0.3~30mL/min)

  • ストレート流路

    ストレート流路であるため圧力損失が小さく、また液溜りが無く洗浄性に優れています。

  • 小型・軽量、取付け簡単

    ・従来製品と比べて小型・軽量になりました。
    ・付属の取付けブラケットを使用して、上面(水平配管時)から平易に取付けられます。
    ・垂直配管(流れ方向:下→上)への設置も可能です。
    ・別置きの変換器(アンプ)も不要です。

  • 設置場所、流体を選ばない

    ・IP65保護構造に準拠しています。
    ・製品外面に一切の金属材料を使用していませんので、液体飛沫を受ける環境でも使用でき、腐食性流体への耐性が向上しました。
    ・接液部を石英ガラス(流路)・フッ素樹脂(継手)にて構成し、センサは接液しませんので、多様な流体(石英ガラス・テフロンを腐食させない流体)に使用できます。

■従来製品との比較

蛇口から流れ出る水の量による比較(1分間でたまる量)

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■計測原理

・ヒーター表面温度を、流体温度よりもわずかに高くなるように一定温度に制御します。
・ヒーターの放熱量は流量に応じて変化します。
・流量が大きくなると、流量に奪われる熱量が増えるため消費電力が増加します。
・ヒーターの消費電力を計測することにより、流量値に換算することができます。
(ヒーターの放熱量は僅少であり、流体を加熱することはありません)

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■補正前と補正後の出力特性

計測レンジは流体の熱伝導率・密度の影響を受けて変化しますが、補正機能を用いて出力特性を合わせ込むことが可能です。

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■推奨アプリケーション

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