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小型デジタルマスフローコントローラ 形F4H

アズビル株式会社


0.3secの高速制御性を実現した気体用の流量コントローラ
装置搭載に適したデザイン、装置での使いやすさを追求

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小型デジタルマスフローコントローラ 形F4H

特長

■小型化で省スペースに貢献

  • 小型化

    装置に必要な機能に徹し、メーカー従来機種に対して50%の体積に小型化しました。

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  • 省スペース

    幅28mmの薄型設計なので配管の間隔を詰めることができ、省スペース効果が高くなります。

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■全機種通信標準搭載/RS485(CPL通信)・Modbus RTU

デジタルマスフローコントローラが持つ多くの情報を通信で上位に上げることができます。
マスフローコントローラの故障診断にとどまらず、装置診断にも発展させることが可能となります。

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■協力な耐ノイズ性能

  • 電源回路と信号回路の絶縁

    バルブ駆動回路を他の回路から絶縁することで、小容量の絶縁型電源でも「電源回路とアナログ回路の絶縁(※)」を実現しています。これにより、電源線からノイズが入っても信号への影響がありません。

    ※特許第5132617号

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  • ノイズに強い4~20mAを選択可能

    アナログ入出力信号は、0~5V/1~5V/4~20mAから設定で選択できます。

  • 全機種デジタル通信標準搭載

    デジタル通信に移行することでアナログ信号へのノイズ影響を解消できます。

■トータルコスト削減

  • アナログI/Oモジュールの削減

    PLCとの接続をアナログ信号から通信に移行することで、アナログI/Oモジュールを削減可能です。

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  • DC24V駆動による専用電源の削減

    DC24V駆動なので、専用±15V電源が不要です。また、電源と信号回路が絶縁されているので、1台の電源から複数のF4Hに電源供給してもまわり回路となりません。

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  • マルチガス・マルチレンジ対応

    マルチガス・マルチレンジ対応なので、機種削減・在庫削減に寄与します。

■マイクロフローセンサ

  • 構造

    シリコン基板上に白金薄膜で回路を形成して、高感度・高速応答のフローセンサです。

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  • 計測原理

    流れの無い状態では、ヒータを中心として温度分布が上下流対象となりますが、流れを受けると温度分布が下流側にずれます。
    この温度変化をヒータの上流/下流に搭載された温度センサがとらえることで流速を求めることができます。

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■マイクロフロー製品の構造

熱容量の極小さな素子で構成されたマイクロフローセンサが直接ガスに接する構造のため、流量変動を瞬時に温度変化としてとらえることができます。

アズビルのPID制御技術との融合により0.3sの高速応答制御を実現しています。

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